由于受到制裁,EUV光刻机最近在中国受到极大的关注。
前段时间,EDN的《二手光刻机,曲线救“芯”,1000万美金实现12寸国产芯片生产》报道了中国企业从韩国代理商购买了二手ASML浸没式光刻机。SK海力士宣布将在韩国新工厂首次使用EUV光刻机生产第四代10nm DRAM存储芯片。
存储芯片厂商SK海力士于近日宣布,其公司位于韩国首尔南部利川市的M16新厂已经竣工,SK海力士将首次使用极紫外辐射(EUV)光刻机生产存储芯片。SK海力士经过两年的时间,花费了3.5万亿韩元(约合31亿美元)建成了这座芯片工厂,工厂长336米,宽163米,高105米,相当于一座37层公寓的高度,是SK海力士目前最大的芯片工厂。
SK海力士称已在新厂M16引进了EUV光刻机,从而提高芯片电路的精细程度。此前SK海力士计划从今年6月开始使用EUV光刻机量产第四代10nm(1α)DRAM芯片。
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